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目前真空泵參考參數：
2XZ-4旋片真空泵性能參數表 抽氣速率：4（L/S） 極限壓力：0.06（Pa） 電機功率：0.55（kw） 進氣口內徑：25（mm） 總凈重：29（kg）
電壓： 380
轉速： 1400
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